著者名 一戸 隆久
論題 イオンビームスパッタリング法を用いたナノ構造含有薄膜の作製とその機能的性質に関する研究
学位授与年月日 2004.03.24
学位の種別 課程博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博甲第320号
論文審査委員 主査 森崎 弘


後藤 俊成


小林 忠行


野崎 眞次


内田 和男