著者名 周 榕
論題 直流プラズマスパッタ金属薄膜の構造と物性のバイアス依存性
学位授与年月日 2004.03.24
学位の種別 課程博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博甲第324号
論文審査委員 主査 橋本 満


豊田 太郎


林 茂雄


阿部 浩二


宇佐美 興一