著者名 香川,博之

Hiroyuki Kagawa
論題 薄膜および微小材料の機械的特性の評価法に関する研究

A Study on Methods for Evaluation of Mechanical Properties of Thin Films and Very Small Elements
学位授与年月日 1993.03.23
学位の種別 課程博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博甲第35号
論文審査委員 主査 市川昌弘 教授


皆川七郎 教授


酒井拓 教授


石川晴雄 教授


越智保雄 助教授


本間恭二 助教授