著者名 齊藤 大輔
論題 正バイアス印加マイクロ波プラズマCVDによる高配向ダイヤモンド膜の形成に関する研究
学位授与年月日 2009.3.24
学位の種別 課程博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博甲第525号
論文審査委員 主査 木村 忠正


名取 晃子


小林 忠行


山口 浩一


一色 秀夫


湯郷 成美

論文要旨と審査結果要旨