著者名 涌井 貞一
論題 ナノスケール誘電特性評価手法の開発とその半導体/酸化物薄膜界面系への応用
学位授与年月日 2010.3.24
学位の種別 課程博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博甲第572号
論文審査委員 主査 主査 中村 淳


名取 晃子


野崎 眞次


一色 秀夫


阿部 浩二

論文要旨と審査結果要旨