著者名 横川 慎二
論題 LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究
学位授与年月日 2008.3.24
学位の種別 論文博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博乙第122号
論文審査委員 主査 鈴木 和幸


木村 忠正


名取 晃子


田中 健次


椿 美智子

論文要旨と審査結果要旨