著者名 沢田,潔

Kiyosi Sawada
論題 超精密サーボ装置の開発と超精密加工機への応用に関する研究

Development of Ultraprecision Servo System and its Application to Ultraprecision Micro Machine Tool
学位授与年月日 1995.09.29
学位の種別 論文博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博乙第22号
論文審査委員 主査 竹内芳美 教授


矢野 宏 教授


根岸秀明 教授


梶谷 誠 教授


本間恭二 教授