著者名 和田,哲明
論題 半導体集積回路に用いられるアルミ配線膜の実デバイスにおける信頼性要因と対策に関する研究
学位授与年月日 1999.03.24
学位の種別 論文博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博乙第46号
論文審査委員 主査 木村忠正 教授


安永 均 教授


中田良平 教授


鈴木和幸 助教授


野崎眞次 助教授