著者名 中野,禅
論題 イオン注入法を用いたマイクロマシン用材料・構造の作製に関する研究
学位授与年月日 2003.03.24
学位の種別 論文博士
学位の種類 博士(工学)
学位記番号 博乙第88号
論文審査委員 主査 石川晴雄 教授


酒井拓 教授


越智保雄 教授


木村忠正 教授


三浦博己 助教授


岩木正哉 物質基盤部長 (理化学研究所)